آنان معتقدند كه سالك بايد براى رسيدن به مراتب نهايى توحيد و دريافت شناختى كامل از خداى متعال سه مرتبه از فنا را پشت سر گذارد.
- فنا در توحيد افعالى؛ - فنا در توحيد صفاتى؛ - فنا در توحيد ذاتى.
سالك در مرتبه اوّل هر فعلى از خود و ديگران را در فعل خدا فانى مى‌بيند و جز خدا فاعلى در عالم نمى‌يابد. عارفان اين مرتبه از فنا را «مَحو» مى‌نامند. «١» در مرتبه دوم، سالك همه صفات و كمالات وجودى را از خداى متعال مى‌بيند و به توحيد صفاتى راه پيدا مى‌كند. اين مرتبه را عارفان «طَمْس» مى‌نامند. «٢» او در مرتبه سوم، ذات خود و همه موجودات را فانى در حق مى‌يابد و جز حق كسى را در عالم نمى‌بيند. اين مرتبه را «مَحْقْ» مى‌گويند. «٣» عزالدّين محمود كاشانى در بيان اين سه مرتبه از فنا گويد:
فنا دوگونه است، فناى ظاهر و فناى باطن، فناى ظاهر، فناى افعال است؛ و اين نتيجه تجلّى افعال الهى است و صاحب اين فنا چنان مستغرق بحر افعال الهى شود كه نه خود را و نه غير را از مكونات هيچ فعل و ارادت و اختيار نبيند و اثبات نكند الّا فعل و ارادت و اختيار حق سبحانه، ...
امّا فناى باطن فناى صفات است و فناى ذات و صاحب اين حال در مكاشفه صفات قديمه غرق فناى صفات خود بود و گاه در مشاهده آثار عظمت ذات قديم غرق فناى ذات خود، تا چنان وجود حق بر او غالب و مستولى شود كه باطن او از جمله وساوس و هواجس فانى گردد. «٤» وى درباره بقا از فناى ظاهرى و باطنى گويد:
و بقايى كه در ازاى فناى ظاهر بود، آن است كه حق- سبحانه- بنده را بعد از فناى ارادت و